那么，半导体设备零部件概念股有哪些?
盛美上海688082：1月10日消息，资金净流入1131.77万元，超大单净流入745.2万元，成交金额1.54亿元。
盛美上海近3日股价有2天下跌，下跌0.49%，2024年股价下跌-9.44%，市值为415.66亿元。
在净利润方面，盛美上海从2019年到2022年，分别为1.35亿元、1.97亿元、2.66亿元、6.68亿元。
至纯科技603690：1月10日消息，至纯科技1月10日主力资金净流入1594.24万元，超大单资金净流入814.23万元，大单资金净流入780.02万元，散户资金净流出1098.62万元。
近3日至纯科技上涨1.01%，现报24.86元，2024年股价下跌-3.38%，总市值96.14亿元。
在净利润方面，公司从2019年到2022年，分别为1.1亿元、2.61亿元、2.82亿元、2.82亿元。
国力股份688103：1月10日消息，资金净流出296.39万元，超大单资金净流入7.32万元，成交金额2710.73万元。
国力股份在近3个交易日中有2天下跌，期间整体下跌0.96%，最高价为44.95元，最低价为43.07元。2024年股价下跌-15.73%。
在净利润方面，公司从2019年到2022年，分别为3935.04万元、1.38亿元、7300.38万元、8542.09万元。
汉钟精机002158：1月10日消息，汉钟精机主力资金净流入173.17万元，散户资金净流入399.52万元。
近3日汉钟精机股价上涨0.38%，总市值下跌了8.13亿元，当前市值为111.28亿元。2024年股价下跌-6.97%。
公司在净利润方面，从2019年到2022年，分别为2.46亿元、3.63亿元、4.87亿元、6.44亿元。
正帆科技688596：1月10日主力资金净流入576.67万元，超大单资金净流入318.91万元，换手率0.92%，成交金额8853.21万元。
在近3个交易日中，正帆科技有3天下跌，期间整体下跌0.91%，最高价为36.1元，最低价为34.41元。和3个交易日前相比，正帆科技的市值下跌了8699.08万元。
在净利润方面，公司从2019年到2022年，分别为8302.28万元、1.24亿元、1.68亿元、2.59亿元。
